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WilliamHill中文官方网站公司自主研制的海内首台12英寸PEALD装备通过客户验收
2018-09-30
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2018年9月尾，，，，，由沈阳WilliamHill中文官方网站浚浚�？？？？？萍加邢薰咀灾餮兄频�12英寸原子层沉积（Atomic Layer Deposition，，，，，ALD）装备通过了客户的验收。。。。。。。。
ALD装备是集成电路制备历程中要害的薄膜沉积装备，，，，，被视为先进半导体工艺手艺生长的要害环节之一。。。。。。。。WilliamHill中文官方网站公司基于已通过生产验证的高产能PECVD装备平台，，，，，乐成研制了海内首台量产型12英寸ALD装备，，，，，并迅速推向市场，，，，，可应用于28nm以上极大规模集成电路，，，，，OLED及先进封装（TSV）领域，，，，，投入先进生产线，，，，，用于沉积SiO2，，，，，SiNx等绝缘薄膜。。。。。。。。该装备已乐成进入试生产线审核验证，，，，，历时3个多月，，，，，通过了客户的审核验收，，，，，装备各项性能指标均知足要求，，，，，且抵达或凌驾了国际同类产品的先进水平，，，，，这是我国在实现半导体装备国产化历程中的又一重大突破。。。。。。。。
