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产品先容

PF-300T Altair 系列是我公司自主研发的热原子层沉积（Thermal Atomic Layer Deposition）装备， ，，，，以高产能PEALD装备焦点手艺为基�。。。。。� ，，，，针对响应薄膜沉积的特殊性， ，，，，对反应腔模�？？？？榧耙Σ考呕杓疲� ，，，，实现本钱更低， ，，，，纯度更高的薄膜的沉积。。。。。


产品特点
- 理想的热原子层沉积系统
- 更快速的脉冲及吹扫， ，，，，实现更高的产能
- 精准的化学源剂量控制， ，，，，实现工艺恒久稳固性
- 奇异的温控设计， ，，，，实现更高纯度的薄膜
- 维护轻盈， ，，，，易耗件生命周期长， ，，，，洗濯本钱低


 
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